高溫匣缽,從它的名字中我們不難發現,這種產品的耐高溫性能還是比較強的,應用也是很廣的,它在半導體中的應用同樣也是很多,下面來具體介紹一下:
1、高溫匣缽是重要的半導體輔材,廣泛應用于半導體加工,純石英材料由于其耐溫,耐酸,低膨脹和良好的管夠透過性的特殊物理性能,滿足了半導體工業對載具材料中堿金屬和重金屬含量的苛刻要求,成為該領域中不可缺少的材料。
2、材料貫穿了半導體領域相關產品制造的關鍵過程:高溫匣缽用于提煉、清洗容器以及制作晶圓IC載體;石英錠、石英筒是半導體制造擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝中所用的法蘭、擴散管、石英鐘罩的材料;合成石英錠是平板顯示技術中關鍵部件光掩膜基板的主要基材。
之所以高溫匣缽能夠在半導體中的應用廣泛,主要還是因為它的耐熱性,耐腐蝕性等一些性能,在半導體中,是符合半導體行業的應用要求的。